由于在职业活动过程中，长期吸入含有游离二氧化硅的生产性粉尘，粉尘沉积在呼吸性支气管和肺泡壁上，长期储留余肺内，巨噬细胞在吞噬进入肺泡的粉尘后，在SiO2的作用下，遭受损伤和死亡，产生大量致纤维化因子，引起肺间质的广泛纤维化，使肺组织丧失弹性。
影响尘肺病发病的因素主要有三种：一是粉尘的性质。游离二氧化硅具有极强的细胞毒性和致纤维化作用，还是国际癌症研究机构认定的肯定的人类致癌物。粉尘中游离二氧化硅含量的多少与该粉尘致纤维化得程度密切相关，游离二氧化硅越高，致肺纤维化的作用就越强、进展越快，病变最严重。二是粉尘颗粒的大小和比重。一般说，颗粒直径较大的粉尘往往通过粘液分泌或气管粘膜上皮细胞纤毛运动随痰排出，只有直径小于7微米的呼吸性粉尘才有可能进入肺脏，沉积在呼吸性支气管和肺泡壁上，长期储留余肺内的结果，导致肺间质的广泛纤维化。三是接触时间的长短和接触量。接触时间越长，作业场所粉尘的浓度越高，进入肺泡、在肺泡积累的粉尘就越多，危害也就越大。
